JIS H 0608:1978 (W) シリコン中のボロン定量方法

JIS H 0608:1978 廃止 移動先 規格概要

この規格 H0608は、半導体用シリコンロッド中のボロンを定量する方法について規定。ボロン濃度は,フローテングゾーン操作を行った試料の抵抗率から算定。

規格 番号

JIS H0608 

規格 名称

シリコン中のボロン定量方法

規格 名称 英語訳

Estimation of boron content in silicon

制定 年月日

1965-08-01

廃止 年月日

1999-06-20

引用 JIS 規格

JISH0602

対応国際 規格 ISO

-

国際規格 分類 ICS

29.045, 77.120.99

改訂 履歴

1965-08-01 制定日, 1968-06-01 確認日, 1971-05-01 確認日, 1974-04-01 確認日, 1977-04-01 確認日, 1978-03-01 改正日, 1983-10-01 確認日, 1988-12-01 確認日, 1993-12-01 確認 1999-06-20 廃止日

公示の種類

廃止

廃止の理由

ゼロベース見直しによる廃止。

移行先(移動先)

JISハンドブック

‐ 

規格番号

規格名称

JISH0602:1995

シリコン単結晶及びシリコンウェーハの4探針法による抵抗率測定方法