JIS B 8329-2:2015 真空技術―真空ポンプの性能試験方法―第２部：容積移送式真空ポンプの試験方法

                                                                                 B 8329-2 : 2015

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[1]
•  3 用語及び定義・・・・[1]
•  4 記号の定義及び単位・・・・[2]
•  5 試験方法・・・・[3]
•  5.1 排気速度の測定方法・・・・[3]
•  5.2 試験到達圧力の測定方法・・・・[4]
•  5.3 許容水蒸気圧の測定方法・・・・[4]
•  5.4 消費電力の測定方法・・・・[4]
•  5.5 最低起動温度・・・・[5]
•  5.6 測定の不確かさ・・・・[5]
•  附属書A(参考)許容水蒸気圧の測定・・・・[6]
•  附属書B(参考)許容水蒸気圧の計算・・・・[13]
•  附属書C(参考)水の飽和蒸気圧表・・・・[14]
•  附属書D(参考)参考文献・・・・[15]
•  附属書JA(参考)JISと対応国際規格との対比表・・・・[16]

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――――― [JIS B 8329-2 pdf 1] ―――――

B 8329-2 : 2015

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,一般社団法人日本真空学会(VSJ)及び一般
財団法人日本規格協会(JSA)から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を制定すべきとの申出があり,
日本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が制定した日本工業規格(日本産業規格)である。
  これによって,JIS B 8316-1:1999及びJIS B 8316-2:1999は廃止され,この規格に置き換えられた。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願又は実用新案権に抵触する可能性があることに注意
を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許権,出願公開後の特許出願及び実
用新案権に関わる確認について,責任はもたない。
  JIS B 8329の規格群には,次に示す部編成がある。
    JIS B 8329-1 第1部 : 共通試験方法
    JIS B 8329-2 第2部 : 容積移送式真空ポンプの試験方法

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――――― [JIS B 8329-2 pdf 2] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                           B 8329-2 : 2015

真空技術−真空ポンプの性能試験方法−第2部 : 容積移送式真空ポンプの試験方法

Vacuum technology-Standard methods for measuring vacuum-pump performance-Part 2: Positive displacement vacuum pumps

序文

  この規格は,2012年に第1版として発行されたISO 21360-2を基とし,日本国内の現状に合わせるため,
技術的内容を変更して作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
  なお,この規格で点線の下線を施してある箇所は,対応国際規格を変更している事項である。変更の一
覧表にその説明を付けて,附属書JAに示す。

1 適用範囲

  この規格は,容積移送式真空ポンプの排気速度,試験到達圧力,許容水蒸気圧,消費電力及び最低起動
温度の試験方法について規定する。対象とするポンプは,大気圧下に気体を排気して,試験到達圧力が10
kPa未満に達するものとする。
  この規格は,JIS B 8329-1の排気速度及び試験到達圧力の試験方法を用いる。
  この規格は,大気圧下に気体を排気する容積移送式真空ポンプ以外の真空ポンプ(例えば,ドラッグポ
ンプなど)の性能試験にも適用できる。
    注記 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
          ISO 21360-2:2012,Vacuum technology−Standard methods for measuring vacuum-pump performance
              −Part 2: Positive displacement vacuum pumps(MOD)
            なお,対応の程度を表す記号“MOD”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“修正している”
          ことを示す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。この引用
規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS B 8329-1 真空技術−真空ポンプの性能試験方法−第1部 : 共通試験方法
      注記 対応国際規格 : ISO 21360-1,Vacuum technology−Standard methods for measuring vacuum-pump
             performance−Part 1: General description(MOD)

3 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS B 8329-1によるほか,次による。

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2
B 8329-2 : 2015
3.1
ガスバラスト(gas ballast)
  ポンプ内部の圧縮過程で凝縮性気体が凝縮しないように凝縮性気体の分圧を下げるための,ポンプの行
程容積への気体又は空気の導入。
3.2
許容水蒸気圧(water vapour tolerance)
  ポンプ内で凝縮することなく,ポンプで移送することができる最大蒸気圧。
    注記 例えば,油水分離装置が設置されているなど,水蒸気の凝縮が問題なければ,最大水蒸気圧は
          考慮しなくてよい。
3.3
水蒸気容量(water vapour capacity)
  ポンプ内で凝縮することなく,ポンプで移送することができる単位時間当たりの水の質量。
3.4
行程容積(swept volume)
  ポンプの1圧縮サイクルで除去される吸入体積。
3.5
飽和蒸気圧(saturation vapour pressure)
  閉じた系で凝縮相(液体,固体又は両方)と平衡状態にある純粋な化学物質の蒸気による圧力。
    注記 各物質の飽和蒸気圧は,温度だけの関数である。
3.6
水蒸気飽和温度(water vapour saturation temperature)
  水蒸気飽和圧力に対応する温度。
3.7
圧縮仕事(compression energy)
  気体の体積圧縮に必要な仕事。

4 記号の定義及び単位

  この規格で用いる記号の定義及び単位は,表1による。
                                    表1−記号の定義及び単位
          記号                           定義                                単位
       α          排気弁が開く圧力に補正する係数
       φH2O       空気の相対湿度                                     %
       κ          断熱指数
       L           モル蒸発熱                                         J/mol
       P0          製造業者が指定する回転速度で試験到達圧力の消費電力 W
       P0B                                                            W
                   製造業者が指定する回転速度でガスバラスト使用時の到達圧
                   力での消費電力
       Pmax        製造業者が指定する回転速度での最大消費電力         W
       p0          標準気圧 101 325 Pa                                Pa
       p1          吸気口圧力                                         Pa
       p2          排気気体中の空気分圧                               Pa

――――― [JIS B 8329-2 pdf 4] ―――――

                                                                                              3
                                                                                 B 8329-2 : 2015
                                表1−記号の定義及び単位(続き)
          記号                           定義                                単位
       pa          大気中の水蒸気分圧                                 Pa
       pB          大気中の空気分圧                                   Pa
       pH2O        許容水蒸気圧                                       Pa
       ps          飽和水蒸気圧                                       Pa
       pT0         温度T0における飽和水蒸気圧                         Pa
       qV          排気速度                                           m3/s
                                                                      (=3 600 m3/h,
                                                                      =6×104 L/min)
       qVB         ガスバラスト配管の体積流量                         m3/s
       R           気体定数                                           8.314 J/(mol・K)
       T0          pT0に対応する温度                                  K
       T1          環境温度                                           ℃
       T2          排気口の気体温度                                   K
       T20         吸気気体流量のない状態での排気口の気体温度         K
       T2cr        水蒸気に対して補正した排気口の気体温度             K
       T2s         p1での排気飽和温度                                 K
       V2          排気容積                                           m3
       VB          ガスバラストの行程容積                             m3
       VSW         行程容積                                           m3
       Wad         断熱圧縮仕事                                       J
       Wad,H2O    水蒸気の断熱圧縮仕事                               J
       Wada        空気の断熱圧縮仕事                                 J
       Wcr         排気口の気体温度の補正係数

5 試験方法

5.1 排気速度の測定方法

5.1.1  測定方法
  排気速度の測定方法は,JIS B 8329-1の5.1(流量計を用いる排気速度の測定方法)及び5.3(排気時間
を用いる排気速度の測定方法)で規定する。排気速度の測定方法は,流量計を用いる排気速度の測定方法
又は排気時間を用いる排気速度の測定方法を使用する。この規格に示していない説明又は試験装置は,JIS
B 8329-1による。
5.1.2  流量計を用いる排気速度の測定方法
  標準的な方法は,流量計を用いる排気速度の測定方法である。これは,JIS B 8329-1の5.1を適用できる
全てのポンプに用いることができる。
  テストドームの容積は,揺動ピストン形油回転ポンプ及びカム形油回転ポンプの場合に行程容積の2倍
以上とする。その他の真空ポンプのテストドームの容積は,行程容積の5倍以上とする。テストドームの
形状は,JIS B 8329-1による。吸気口フランジ径DNが容積移送式真空ポンプ用テストドーム内径Dより
小さい場合は,JIS B 8329-1の図1(流量計を用いる排気速度測定方法のテストドーム)で示すようにポン
プの吸気口フランジへ45°テーパ管を接続する。
5.1.3  排気時間を用いる排気速度の測定方法
  排気時間を用いる排気速度の測定方法は,大きなテストドームが必要なため,小さなポンプ(例えば,
排気速度が0.01 m3/s以下)に適している。テストドームの容積は,予想する真空ポンプの最大排気速度

――――― [JIS B 8329-2 pdf 5] ―――――

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