JIS B 0681-6:2014 製品の幾何特性仕様（ＧＰＳ）―表面性状：三次元―第６部：表面性状測定方法の分類

                                                                B 0681-6 : 2014 (ISO 25178-6 : 2010)

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[1]
•  3 用語及び定義・・・・[2]
•  4 分類体系・・・・[6]
•  附属書A(参考)測定学上の制限・・・・[9]
•  附属書B(参考)GPSマトリックスモデルとの関係・・・・[10]

(pdf 一覧ページ番号 1)

――――― [JIS B 0681-6 pdf 1] ―――――

B 0681-6 : 2014 (ISO 25178-6 : 2010)

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,一般財団法人日本規格協会(JSA)から,工
業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を制定すべきとの申出があり,日本工業標準調査会の審議を経て,経済
産業大臣が制定した日本工業規格(日本産業規格)である。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願又は実用新案権に抵触する可能性があることに注意
を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許権,出願公開後の特許出願及び実
用新案権に関わる確認について,責任はもたない。
  JIS B 0681の規格群には,次に示す部編成がある。
    JIS B 0681-2 第2部 : 用語,定義及び表面性状のパラメータ(予定)
    JIS B 0681-3 第3部 : 仕様オペレータ(予定)
    JIS B 0681-6 第6部 : 表面性状測定方法の分類

(pdf 一覧ページ番号 2)

――――― [JIS B 0681-6 pdf 2] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                           B 0681-6 : 2014
                                                                         (ISO 25178-6 : 2010)

製品の幾何特性仕様(GPS)−表面性状 : 三次元−第6部 : 表面性状測定方法の分類

Geometrical product specifications (GPS)-Surface texture: Areal- Part 6: Classification of methods for measuring surface texture

序文

  この規格は,2010年に第1版として発行されたISO 25178-6を基に,技術的内容及び構成を変更するこ
となく作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
  なお,この規格で点線の下線を施してある参考事項は,対応国際規格にはない事項である。
  この規格は,製品の幾何特性仕様(GPS)の一つで,GPS規格に属し(ISO/TR 14638 [2]),粗さ曲線,
うねり曲線,断面曲線及び三次元の表面性状の規格チェーンのリンク番号5に関係する。
  この規格と他のGPS規格との関連についての詳細は,附属書Bを参照。
  この規格は,主に表面性状の測定に使用する方法の分類体系について規定する。この分類は,各種の方
法の選択及び理解の助けに成り得る。また,どの測定方法が,三次元表面性状の測定に適用できるのかの
助けにも成り得る。ここで分類体系は可能な限り一般的になることを目指している。しかし,分類中の単
一方法に明瞭に一致しない測定機器も存在することもある。

1 適用範囲

  この規格は,主に表面性状の測定に使用する方法の分類体系について規定する。測定方法は,三つの分
類を定義して,分類間の関係を説明し,かつ,具体的な方法を簡潔に規定する。
    注記 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
          ISO 25178-6:2010,Geometrical product specifications (GPS)−Surface texture: Areal−Part 6:
              Classification of methods for measuring surface texture(IDT)
            なお,対応の程度を表す記号“IDT”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“一致している”こ
          とを示す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの
引用規格のうちで,西暦年を付記してあるものは,記載の年の版を適用し,その後の改正版(追補を含む。)
は適用しない。西暦年の付記がない引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS B 0601 製品の幾何特性仕様(GPS)−表面性状 : 輪郭曲線方式−用語,定義及び表面性状パラメ
        ータ
      注記 対応国際規格 : ISO 4287:1997,Geometrical Product Specifications (GPS)−Surface texture: Profile
             method−Terms, definitions and surface texture parameters(IDT)

――――― [JIS B 0681-6 pdf 3] ―――――

2
B 0681-6 : 2014 (ISO 25178-6 : 2010)
    ISO 25178-2,Geometrical product specifications (GPS)−Surface texture:Areal−Part 2: Terms, definitions and
        surface texture parameters
    ISO/IEC Guide 99:2007,International vocabulary of metrology−Basic and general concepts and associated
        terms (VIM)
      注記 このガイドは,TS Z 0032として発行されている。

3 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS B 0601,ISO 25178-2及びISO/IEC Guide 99によるほか,
次による。
3.1   一般用語
3.1.1
測定座標系(measurement coordinate system)
  表面性状パラメータを測定する座標系。
    注記1 公称表面が平面(又は平面の一部)ならば,一般に,平均線に一致する測定方向をX軸,X
            軸に直角で公称表面上の軸をY軸,及び,外側方向(物体から周囲の空間へ)をZ軸とする
            右手直交系の直交座標系を使用する。この規格は,円筒座標系で記載している3.2.1の注記3
            及び3.3.3を除いて,直交座標系を用いる。
    注記2 特定座標系については,ISO 25178-2を参照。
3.1.2
実表面の断面曲線(surface profile)
  実表面を指定された平面によって切断したとき,その切り口に現れる曲線。
    注記 切断する面は,実表面に垂直で任意の方向とするのが一般的である。
3.1.3
高さ座標値,z(x, y)(ordinate value)
  位置x,yでの表面の高さ。
3.2   表面性状測定方法の分類の定義
3.2.1
二次元の輪郭曲線を測定する方法(line-profiling method)
  測定データの不規則凹凸から,高さの関数z(x)として数学的に表される,表面の二次元のグラフ又は輪
郭曲線を生成して三次元凹凸を測定する方法。
    注記1 二次元に対して三次元の表面凹凸を測定する方法(3.2.2)及び面内を積分する方法(3.2.3)
            は,表面の単一の輪郭曲線の代わりに,選択した面内で表面性状を定量化する。
    注記2 複数の輪郭曲線を測定する測定機の例として,触針走査計[1],初期の位相シフト式干渉計[2],
            [3],光学差動式輪郭曲線計[4],[5]などがある。
    注記3 円環状の輪郭曲線を測定するために,zが角度θの関数の円筒座標系の測定機も開発されて
            いる。一例として干渉式円環状輪郭曲線計[6]がある。
3.2.2
三次元の表面凹凸を測定する方法(areal-topography method)
  二つの独立変数(x, y)の高さの関数z(x, y)として数学的に表される表面凹凸像を生成して表面を測定する
方法。

――――― [JIS B 0681-6 pdf 4] ―――――

                                                                                              3
                                                                B 0681-6 : 2014 (ISO 25178-6 : 2010)
    注記1 触針走査法[7],位相シフト干渉顕微鏡法[8],垂直走査低コヒーレンス干渉法[9],[10],共焦
            点顕微鏡法[11],色収差共焦点顕微鏡法[12],パターン光投影[13],[14](三角測量法を含む。),
            全焦点画像顕微鏡法[15],光学差動式輪郭曲線法[3],[4],デジタルホログラフィ顕微鏡法[16],
            点合焦輪郭曲線法[17],[18],角度分解SEM法[19],[20],SEMステレオ投影法[21],[22],
            走査トンネル顕微鏡法[23],及び原子間力顕微鏡法[24],[25]が,三次元の表面凹凸を測定す
            る方法として開発又は市販されている。表面凹凸の測定方法の性能は,Y軸方向に順送りし,
            X軸方向走査で得られた平行な輪郭曲線の一群又は顕微鏡カメラでの画像の形成と同じであ
            る。これらの方法の全てが,二次元の輪郭曲線を生成するのに使用することができる。
    注記2 (Y軸方向に)走査された平行な輪郭曲線の一群のz(x)のような輪郭曲線から表面凹凸画像
            z(x, y)を形成する方法は,測定速度の遅い軸であるため精度には注意が必要である。z(x, y)凹
            凸像は,面の性状を表示するが,場合によってその方法はz(y)の凹凸変化が実際よりも小さ
            く評価される場合もある。また,Z軸方向の輪郭の精度は測定機器のドリフトによって制限
            されることもある。
3.2.3
面内を積分する方法(area-integrating method)
  表面の代表的な領域を測定し,面内で積分された特性に対応する数値結果を生成して表面を測定する方
法。
    注記1 二次元の輪郭曲線データz(x)又は三次元の凹凸データz(x, y)は得られない。
    注記2 面内を積分する方法として開発されてきた測定機には,光散乱を総積分した技術[26],光散
            乱の角度分解[27],平行板の静電容量[28],及び空気圧(流量)測定[29]を使用したものがあ
            る。
    注記3 面内を積分する方法は,同じ工程で製造された部品の表面性状の差の判定,表面性状の繰り
            返し評価を行うために校正された比較用粗さ標準片又は比校正された試験標準片を併用して,
            比較測定器として使用される。
3.3   具体的な方法の用語及び説明(Terms and descriptions for specific methods)
3.3.1
触針走査法(contact stylus scanning)
  触針をプローブとして使用した測定法で,プローブをX軸方向(測定方向)に沿って移動させ,その面
に垂直な方向の変位から表面凹凸を求める方法。
    注記1 表面凹凸は,通常,Y軸方向に等間隔で順送りに実施するX軸方向走査によって得られる平
            行な輪郭曲線の一群から求める。
    注記2 追加情報は,ISO 25178-601:2010を参照。
3.3.2
位相シフト式干渉顕微鏡法,PSI(phase-shifting interferometric microscopy)
  既知の単一波長からなる光源の干渉顕微鏡で,位相を連続的に変えた複数の干渉じま(縞)画像を生成
し,その干渉じま(縞)の濃淡から輪郭曲線又は凹凸画像を求めて表面凹凸を測定する方法。
    注記1 明暗の干渉じま(縞)は,二つ又はそれ以上の相互にコヒーレント(coherent)な光ビームが
            重ねられたとき,画像の中で生成される。
    注記2 追加情報は,ISO 25178-603:2013を参照。

――――― [JIS B 0681-6 pdf 5] ―――――

次のページ PDF 6