JIS B 9925:2010 光散乱式液中粒子計数器―校正方法及び検証方法

                                                                                   B 9925 : 2010

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[1]
•  3 用語及び定義・・・・[1]
•  4 測定原理・・・・[2]
•  5 基本構成・・・・[3]
•  6 性能・・・・[3]
•  6.1 粒径区分のしきい値設定方法・・・・[3]
•  6.2 粒径区分のしきい値の誤差・・・・[3]
•  6.3 計数効率・・・・[3]
•  6.4 粒径分解能・・・・[3]
•  6.5 偽計数・・・・[3]
•  6.6 最大粒子個数濃度・・・・[4]
•  6.7 試料流量・・・・[4]
•  6.8 測定時間・・・・[4]
•  6.9 試料容量・・・・[4]
•  6.10 校正周期・・・・[4]
•  6.11 試験報告書・・・・[4]
•  7 試験方法・・・・[4]
•  7.1 粒径区分のしきい値設定方法・・・・[4]
•  7.2 粒径区分のしきい値の誤差・・・・[6]
•  7.3 計数効率・・・・[6]
•  7.4 粒径分解能・・・・[7]
•  7.5 偽計数・・・・[7]
•  7.6 同時通過損失・・・・[8]
•  7.7 試料流量・・・・[8]
•  7.8 測定時間・・・・[8]
•  7.9 試料容量・・・・[8]
•  7.10 校正・・・・[8]
•  附属書A(参考)計数効率・・・・[9]
•  附属書B(参考)粒径分解能・・・・[10]
•  附属書C(参考)偽計数・・・・[11]
•  附属書JA(参考)性能試験結果の不確かさ評価方法・・・・[12]
•  附属書JB(参考)JISと対応国際規格との対比表・・・・[16]

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――――― [JIS B 9925 pdf 1] ―――――

B 9925 : 2010

まえがき

  この規格は,工業標準化法第14条によって準用する第12条第1項の規定に基づき,社団法人日本空気
清浄協会(JACA)及び財団法人日本規格協会(JSA)から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を改正す
べきとの申出があり,日本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が改正した日本工業規格(日本産業規格)である。
  これによって,JIS B 9925:1997は改正され,この規格に置き換えられた。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願,実用新案権又は出願公開後の実用新案登録出願に
抵触する可能性があることに注意を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許
権,出願公開後の特許出願,実用新案権及び出願公開後の実用新案登録出願にかかわる確認について,責
任はもたない。

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――――― [JIS B 9925 pdf 2] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                                JIS
                                                                              B 9925 : 2010

光散乱式液中粒子計数器−校正方法及び検証方法

Light scattering liquid-borne particle counter

序文

  この規格は,2007年に第1版として発行されたISO 21501-2を基とし,技術的内容を理解しやすく,か
つ,使いやすくするために技術的内容を変更して作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
  なお,この規格で側線又は点線の下線を施してある箇所は,対応国際規格を変更している事項である。
変更の一覧表にその説明を付けて,附属書JBに示す。

1 適用範囲

  この規格は,液体中に浮遊する粒子の粒径,及び個数又は粒子個数濃度を測定する,光散乱式液中粒子
計数器(以下,粒子計数器という。)の校正方法及び検証方法について規定する。この規格における粒子計
数器は,液体中に含まれる粒子を個々に測定する装置であり,一般的な測定粒径範囲は,0.110    
る。
    注記1 この粒子計数器は,JIS K 0230における純水の清浄度の測定及び薬液の清浄度を評価する場
            合に用いられる。
    注記2 粒子計数器で測定する粒径は,純水中に浮遊している校正用粒子の光散乱相当径であり,実
            際の粒径を測定しているわけではない。
              なお,粒径は粒子の直径であり,粒子径ともいう。
    注記3 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
             ISO 21501-2:2007,Determination of particle size distribution−Single particle light interaction
                 methods−Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter(MOD)
              なお,対応の程度を表す記号“MOD”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“修正している”
            ことを示す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの
引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS Z 8103 計測用語
    JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語
    JIS Z 8901 試験用粉体及び試験用粒子

3 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS Z 8103及びJIS Z 8122によるほか,次による。

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2
B 9925 : 2010
3.1
校正用粒子(calibration particle)
  平均粒径が既知の単分散粒子であり,例えば,JIS Z 8901に規定するポリスチレン系(PSL)の試験用
粒子1がある。
3.2
粒径区分(size setting)
  特定の粒径より大きい粒子だけを選別して粒子個数濃度又は粒子個数の測定を行う場合における粒子計
数器の選別範囲。粒径区分は,粒径値で表す。
3.3
計数効率(counting efficiency)
  純水中に校正用粒子が浮遊している試料を測定したとき,参照器が示す粒子個数濃度に対する粒子計数
器が示す粒子個数濃度の比。
3.4
最小可測粒径(minimum detectable particle size)
  粒子計数器が示す粒径のうち最も小さい粒径。
3.5
波高分析器,PHA(pulse height analyzer)
  パルスの波高値分布を測定する装置。
3.6
粒径分解能(size resolution)
  異なった粒径を識別できる能力。
3.7
偽計数(false count rate)
  測定した液体中に測定可能範囲の大きさの粒子が存在しないにもかかわらず,粒子検出器が計数する計
数値。
3.8
同時通過損失(coincidence loss)
  粒子検出領域を複数個の粒子が同時に通過したり,電気回路の処理時間などが原因で生じる粒子の数え
落とし。試料に含まれる粒子個数濃度が高いほど同時通過損失は大きくなる。
3.9
最大粒子個数濃度(maximum particle number concentration)
  測定が許される最大の粒子個数濃度であり,個々の粒子計数器について規定する。
     注記 粒子個数濃度が増すと粒子計数器の同時通過損失が増し,正しい表示をしなくなるので,最大
           粒子個数濃度を個々の粒子計数器について決定する必要がある。
3.10
フローセル(flow cell)
  試料液体へ光線を照射するために用いる透明な流路。

4 測定原理

  粒子の大きさ及び個数の測定は,粒子に光を照射すると光の一部は散乱されるために,この散乱された

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                                                                                   B 9925 : 2010
光量から粒子の大きさを,また,粒子が光束を通過するときに発生する散乱光のパルスの数から粒子の個
数を計数する。具体的には,試料液体を粒子計数器の試料導入口から一定流量でフローセルに導入し,光
による照射領域を通過させる。個々の粒子によって散乱される光を光電変換素子に集光し,パルス状の電
気信号に変換する。パルス信号の波高値は,散乱光量に比例する。また,散乱光量と浮遊粒子の粒径とが
一定の関係にあることを利用して,パルス波高値の分析によって粒径を選別し,かつ,波高値を粒径に対
応する設定値と比較することによってパルス状信号の個数を計数して粒径区分ごとの粒子個数を求める。

5 基本構成

  粒子計数器は,図1に示すように,光源,照射用光学系,液体導入系,フローセル,受光用光学系,光
電変換部,波高分析部,表示部などからなる。ただし,液体導入系及び/又は表示部は,粒子計数器には
含まれない場合もある。
  なお,校正用粒子に対する波高値分布を作成できる情報を取り出せなければならない。
    注記 液体導入系には,空気圧などによる加圧及びシリンジなどによって吸液する吸引式のほか,配
          管中の液体を,管内圧力を利用して導入する自流式がある。
                                          図1−構成例

6 性能

6.1 粒径区分のしきい値設定方法

  粒径区分のしきい値設定方法は,7.1に従うことが望ましい。

6.2 粒径区分のしきい値の誤差

  表示される粒径と選別される粒径との相対誤差は,7.2の方法で試験し,±15 %の範囲内でなければな
らない。対象とする粒径は,最小可測粒径,仕様書などに記載された粒径とする。

6.3 計数効率

  計数効率は,7.3の方法で試験したとき,最小可測粒径付近の校正用粒子においては(50±30)%,及び
最小可測粒径の1.5倍から3倍までの校正用粒子においては(100±30)%でなければならない。
    注記 最小可測粒径と厳密に等しい粒径をもつ校正用粒子が市販されていないなどの理由で入手でき
          ないときは,その粒径以上で入手可能な範囲で最も近い粒径の校正用粒子で代用することがで
          きる。

6.4 粒径分解能

  粒径分解能は,7.4の方法で試験し,10 %以下でなければならない。

6.5 偽計数

  偽計数は,7.5の方法で試験し,最小可測粒径において単位体積当たりに計数される数であり,仕様書な
どに記載しなければならない。

――――― [JIS B 9925 pdf 5] ―――――

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