JIS Z 8129:2014 真空技術―真空計―熱陰極電離真空計の仕様の表記法

                                                                                   Z 8129 : 2014

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[2]
•  3 用語及び定義・・・・[2]
•  4 記号及び単位・・・・[6]
•  5 熱陰極電離真空計の原理・・・・[7]
•  6 製造業者が提示する熱陰極電離真空計の仕様を表す項目・・・・[7]
•  6.0A 一般・・・・[7]
•  6.1 真空計の形式・・・・[7]
•  6.2 表示及び測定信号出力・・・・[7]
•  6.3 測定圧力範囲・・・・[8]
•  6.4 測定の不確かさ・・・・[8]
•  6.5 残留電流相当圧力・・・・[8]
•  6.6 真空容器への接続・・・・[8]
•  6.7 外囲器の種類及び測定子の材料・・・・[8]
•  6.8 最高加熱脱ガス温度・・・・[8]
•  6.9 熱陰極(フィラメント)材料及び電子電流・・・・[8]
•  6.10 電気的動作条件・・・・[9]
•  6.11 インターフェイス・・・・[9]
•  6.12 測定子と制御部との間の互換性・・・・[9]
•  6.13 測定子及び制御部の寸法・・・・[9]
•  6.14 動作環境条件・・・・[9]
•  6.15 制御部への入力電力・・・・[9]
•  6.16 ケーブル長さ・・・・[9]
•  6.17 熱陰極(フィラメント)の交換・・・・[9]
•  6.18 圧力セットポイント・・・・[9]
•  6.19 保護動作圧力・・・・[10]
•  6.20 切替え圧力・・・・[10]
•  7 熱陰極電離真空計の仕様を表す項目(任意)・・・・[10]
•  7.0A 一般・・・・[10]
•  7.1 繰返し性及び再現性(長期安定性)・・・・[10]
•  7.2 表示範囲・・・・[10]
•  7.3 測定子の材料・・・・[10]
•  7.4 脱ガス法・・・・[10]
•  7.5 脱ガス電力・・・・[10]

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――――― [JIS Z 8129 pdf 1] ―――――

Z 8129 : 2014

pdf 目次

ページ

•  7.6 窒素以外の気体に対する比感度係数・・・・[10]
•  7.7 窒素に対する典型的な感度係数・・・・[10]
•  7.8 内部容積・・・・[11]
•  7.9 保存及び搬送条件・・・・[11]
•  7.10 写真及び図・・・・[11]
•  7.11 記録及び校正証明書・・・・[11]
•  8 熱陰極電離真空計における測定の不確かさの要因・・・・[11]
•  8.0A 一般・・・・[11]
•  8.1 電子電流・・・・[11]
•  8.2 残留電流・・・・[11]
•  8.3 信号出力の分解能・・・・[12]
•  8.4 信号出力のばらつき及び繰返し再現性・・・・[12]
•  8.5 感度係数の非直線性・・・・[12]
•  8.6 環境条件・・・・[12]
•  8.7 使用前の点検及び洗浄・・・・[12]
•  8.8 搬送による安定性を含んだ再現性(長期安定性)・・・・[12]
•  8.9 気体組成・・・・[13]
•  8.10 排気効果・・・・[13]
•  8.11 熱遷移効果・・・・[13]
•  8.12 測定子の取付位置及び取付け向き・・・・[13]
•  8.13 外囲器・・・・[13]
•  附属書A(参考)ガラス管形B-A真空計の例・・・・[14]
•  附属書B(参考)B-A真空計の電位配分の例・・・・[15]
•  附属書C(参考)電離真空計の使用上の問題点・・・・[16]
•  附属書D(参考)参考文献・・・・[17]
•  附属書JA(参考)JISと対応国際規格との対比表・・・・[19]

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                                                                                   Z 8129 : 2014

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,一般社団法人日本真空学会(VSJ)及び一般
財団法人日本規格協会(JSA)から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を制定すべきとの申出があり,
日本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が制定した日本工業規格(日本産業規格)である。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願又は実用新案権に抵触する可能性があることに注意
を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許権,出願公開後の特許出願及び実
用新案権に関わる確認について,責任はもたない。

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                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                              Z 8129 : 2014

真空技術−真空計−熱陰極電離真空計の仕様の表記法

Vacuum technology-Vacuum gauges- Specifications for hot cathode ionization gauges

序文

  この規格は,2009年に第1版として発行されたISO 27894を基とし,技術的内容を変更して作成した日
本工業規格である。
  なお,この規格で点線の下線を施してある箇所は,対応国際規格を変更している事項である。変更の一
覧表にその説明を付けて,附属書JAに示す。

1 適用範囲

  この規格は,熱陰極電離真空計の製造業者が明記しなければならない測定に関係するパラメータ(仕様),
及びこれらの真空計を使用する場合において考慮する測定の不確かさの要因について規定する。この規格
を制定する目的を次に示す。
a) 熱陰極電離真空計は,高真空から超高真空領域における参照真空計として使用される。この規格は,
    熱陰極真空計を適切に校正する機関に対する情報を明示する。この規格で規定する情報は,カタログ,
    取扱説明書などに記載することで,熱陰極電離真空計を用いた高真空から超高真空領域におけるトレ
    ーサビリティを考慮した適切な測定を行うために有用な仕様を表す項目となる。
b) この規格は,熱陰極電離真空計を用いた圧力測定における不確かさの要因を示す。これらの要因は,
    熱陰極電離真空計を用いた高真空から超高真空の圧力測定を行う際に重要であることが知られている。
    また,これらの要因を評価するためのガイドラインを与える。これらの不確かさの要因は,幾つかの
    現行形のもの又は新しい真空計にとっては問題とならない程度にその影響が小さい場合もある。
c) この規格は,熱陰極電離真空計を参照真空計として用いる場合,JIS Z 8750及びISO 27893を補完す
    る。
    注記1 高真空から超高真空領域の校正用の参照真空計として,熱陰極電離真空計が主に用いられる。
            電場と磁場とが交差した場における自己保持形の放電を用いた冷陰極電離真空計よりも圧力
            に対する読み値の直線性が良いからである。
    注記2 熱陰極電離真空計による高真空から超高真空領域の圧力の校正及び信頼性のある測定を行う
            ためには,測定に関係するパラメータ及び不確かさの要因を知る必要がある。
    注記3 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
            ISO 27894:2009,Vacuum technology−Vacuum gauges−Specifications for hot cathode ionization
                gauges(MOD)
              なお,対応の程度を表す記号“MOD”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“修正している”

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Z 8129 : 2014
            ことを示す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの
引用規格のうちで,西暦年を付記してあるものは,記載の年の版を適用し,その後の改正版(追補を含む。)
は適用しない。西暦年の付記がない引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS Z 8126-3:1999 真空技術−用語−第3部 : 真空計及び関連用語
    JIS Z 8750:2009 真空計校正方法
      注記 対応国際規格 : ISO 3567,Vacuum gauges−Calibration by direct comparison with a reference gauge
             (MOD)
    ISO 27893,Vacuum technology−Vacuum gauges−Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by
        direct comparison with a reference gauge
      注記 上記の規格は,TS Z 0029:2011 真空技術−真空計−真空計の校正値の不確かさ評価として
             公表されている。
    ISO/IEC Guide 98-3:2008,Uncertainty of measurement−Part 3: Guide to the expression of uncertainty in
        measurement(GUM:1995)
      注記 上記のガイドは,TS Z 0033として公表されている。

3 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS Z 8126-3:1999によるほか,次による。
3.1   各部の定義
3.1.0A
真空計(vacuum gauge)
  気体・蒸気の大気圧より低い圧力を測定する計器。多くの場合,測定子と制御部とからなる(JIS Z
8126-3:1999参照)。
    注記 普通に用いられている真空計には,ここで規定する意味の“圧力”を直接測定せず,特定の条
          件の下で圧力に関連した他の物理量を測定しているものが多い。
3.1.1
測定子(gauge head,gauge tube)
  真空計の一部であり,真空にさら(曝)される部分。
    注記1 JIS Z 8126-3:1999を適用した。
    注記2 熱陰極電離真空計の測定子は,少なくとも陰極又は熱陰極(フィラメント),陽極(グリッド),
            集イオン電極(イオンコレクタ)及びそれらに対する真空電流導入端子から構成される(附
            属書A参照)。
3.1.2
制御部(control unit,controller)
  測定子を動作させ,測定子を制御し,イオン電流又はイオン電流に伴う電圧を測定するのに必要な電子
回路を含み,必要な場合には測定子の脱ガスを行うための電源をもつ熱陰極電離真空計の部位。圧力値の
表示器を含む場合もある。
    注記 参考として制御部の構成の一例を附属書Bに示す。

――――― [JIS Z 8129 pdf 5] ―――――

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