JIS Z 8207:1999 真空装置用図記号

Z 8207 : 1999

まえがき

  この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が改正した日
本工業規格である。これによってJIS Z 8207 : 1991は改正され,この規格に置き換えられる。
  今回の改正によって,JIS Z 8207はISO 3753 (Vacuum technology−Graphical symbols) と一致した規格と
なる。
  JIS Z 8207には,次に示す附属書がある。
    附属書(参考) 記号の使用例

(pdf 一覧ページ番号 )

――――― [JIS Z 8207 pdf 1] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                            Z 8207 : 1999

真空装置用図記号

Vacuum technology−Graphical symbols

序文 この規格は,1977年に第1版として発行されたISO 3753, Vacuum technology−Graphical symbolsを
基に対応する部分(種類及び図記号)については対応国際規格を翻訳し,技術的内容を変更することなく
作成した日本工業規格(日本産業規格)であるが,対応国際規格には規定されていない種類の図記号を日本工業規格(日本産業規格)として
追加している。
  なお,この規格本体 (3.1)  (3.7) の図記号のうち,点線の下線を施してある種類の記号は,対応国際
規格にはない種類の図記号である。
1. 適用範囲 この国際規格は,真空技術に使用する,図記号について規定する。
    備考 この規格の対応国際規格を,次に示す。
          ISO 3753 Vacuum technology−Graphical symbols
2. 一般 作図に当たっては,バルブを除いて元の記号に混乱を生じさせないことで,記号の推奨された
入口及び出口の位置を変えてもよい。
  2個以上の結合の中の記号の大きさは,附属書(参考)に示されたそれらにほぼ適合すべきである。
3. 図記号
3.1   真空ポンプ (Vacuum pumps)
   番号                                    名称                                      図記号
 3.1      真空ポンプ(形式を指定しない。)
          Vacuum pump (type unspecified)
             備考 矢印は,任意で他の記号と混乱の可能性がない限り省略してもよい。
 3.1.1    容積移送式真空ポンプ(形式を指定しない。)
          Positive displacement pump (type unspecified)

――――― [JIS Z 8207 pdf 2] ―――――

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Z 8207 : 1999
   番号                                    名称                                      図記号
 3.1.1.1  油回転真空ポンプ
          Sliding vane rotary vacuum pump or piston vacuum pump
             備考 一重丸 : 1段ポンプ
                  二重丸 : 2段ポンプ
 3.1.1.2  ガスバラストポンプ
          Gas ballast pump
             備考 一重丸 : 1段ポンプ
                  二重丸 : 2段ポンプ
 3.1.1.3  液封真空ポンプ
          Liquid ring vacuum pump
             備考 一重丸 : 1段ポンプ
                  二重丸 : 2段ポンプ
 3.1.1.4  ルーツ真空ポンプ
          Roots vacuum pump
             備考 一重丸 : 1段ポンプ
                  二重丸 : 2段ポンプ
 3.1.1.5  ドライポンプ(形式を指定しない。)
          Dry pump (type unspecified)
 3.1.2.1  エジェクタ真空ポンプ
          Vapour jet vacuum pump
             備考 ×は,記号の一部ではない。この位置に作動流体の名称又はその記号を入れ
                  てもよい。
             例 油 : CH,水銀 : Hg,水 : H2O
 3.1.2.2  拡散ポンプ
          Vapour diffusion pump using oil or mercury vapour
             備考 ×は,記号の一部ではない。この位置に作動流体の名称又はその記号を入れ
                  てもよい。
             例 油 : CH,水銀 : Hg
 3.1.2.3  ターボ分子ポンプ
          Turbomolecular pump
             備考 丸の中の五本の垂線は,ポンプが多段であることを意味する。五本の垂線は,
                  段数にかかわらず使用される。
 3.1.3    気体ため込式真空ポンプ(形式を指定しない。)
          Entrapment vacuum pump (type unspecified)
             備考 矢印は,任意で他の記号と混乱の可能性がない限り省略してもよい。

――――― [JIS Z 8207 pdf 3] ―――――

                                                                                              3
                                                                                   Z 8207 : 1999
   番号                                    名称                                      図記号
 3.1.3.1  ソープションポンプ,モレキュラシーブ利用
          Adsorption pump, utilizing molecular sieve
 3.1.3.2  サブリメーションポンプ
          Sublimation pump
             備考 昇華材料の化学記号を×のところに入れる。
 3.1.3.2.1冷却面をもったゲッターサブリメーションポンプ
          Getter sublimation pump with cold walls
             備考 昇華材料の化学記号を×の位置に入れる。昇華材料の温度を左側に示す。
 3.1.3.3  スパッタイオンポンプ
          Sputter ion pump
 3.1.3.4  クライオポンプ
          Cryopump
3.2   バッフル (Baffles)
   番号                                    名称                                      図記号
 3.2      バッフル(形式を指定しない。)
          Baffle (type unspecified)
             備考 バッフルの温度を×の位置に入れてもよい。
 3.2.1.1  冷却バッフル(液体循環によって冷却する。)
          Refrigerated baffle
             備考 冷媒の温度及び種類をそれぞれ左側及び右側に示してもよい。
 3.2.1.2  寒剤貯蔵式バッフル
          Reservoir type baffle
 3.2.1.3  ペルチェタイプバッフル
          Peltier type baffle
 3.2.1.4  空冷式バッフル
          Air-cooled baffle

――――― [JIS Z 8207 pdf 4] ―――――

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Z 8207 : 1999
3.3   トラップ(コンデンサ) [Traps (Condensers)   ]
   番号                                    名称                                      図記号
 3.3      トラップ(形式を指定しない。)
          Trap (type unspecified)
             備考 トラップの温度を×の位置に入れてもよい。
 3.3.1.1  冷却トラップ
          Reservoir type trap
 3.3.1.2  コンデンサ
          Condenser
             備考 冷媒を流す形式。
3.4   圧力測定器 (Pressure-measuring apparatus)
   番号                                    名称                                      図記号
 3.4      真空計(形式を指定しない。)
          Pressure gauge (type unspecified)
 3.4.1    分圧真空計
          Partial pressure gauge
 3.4.2    熱陰極電離真空計
          Hot cathode ionization gauge
 3.4.2.1  熱陰極電離真空計−超高真空計
          Hot cathode ionization gauge−ultra-high vacuum
 3.4.3    冷陰極電離真空計
          Cold cathode ionization gauge
 3.4.4    熱伝導真空計
          Thermal conductivity gauge

――――― [JIS Z 8207 pdf 5] ―――――

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