JIS B 9921:2010 光散乱式気中粒子計数器―校正方法及び検証方法

                                                                                   B 9921 : 2010

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[1]
•  3 用語及び定義・・・・[2]
•  4 測定原理・・・・[2]
•  5 基本構成・・・・[2]
•  6 性能・・・・[3]
•  6.1 粒径区分のしきい値設定方法・・・・[3]
•  6.2 粒径区分のしきい値の誤差・・・・[3]
•  6.3 計数効率・・・・[3]
•  6.4 粒径分解能・・・・[3]
•  6.5 偽計数・・・・[3]
•  6.6 最大粒子個数濃度・・・・[3]
•  6.7 試料空気流量・・・・[3]
•  6.8 測定時間・・・・[3]
•  6.9 応答性・・・・[3]
•  6.10 校正周期・・・・[3]
•  6.11 試験報告書・・・・[3]
•  7 試験方法・・・・[4]
•  7.1 粒径区分のしきい値設定方法・・・・[4]
•  7.2 粒径区分のしきい値の誤差・・・・[5]
•  7.3 計数効率・・・・[6]
•  7.4 粒径分解能・・・・[6]
•  7.5 偽計数・・・・[7]
•  7.6 同時通過損失・・・・[7]
•  7.7 試料空気流量・・・・[7]
•  7.8 測定時間・・・・[7]
•  7.9 応答性・・・・[8]
•  7.10 校正・・・・[8]
•  附属書A(参考)計数効率・・・・[9]
•  附属書B(参考)粒径分解能・・・・[10]
•  附属書C(参考)偽計数・・・・[11]
•  附属書D(参考)応答性・・・・[12]
•  附属書JA(参考)性能試験結果の不確かさ評価方法・・・・[13]
•  附属書JB(参考)JISと対応国際規格との対比表・・・・[18]

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――――― [JIS B 9921 pdf 1] ―――――

B 9921 : 2010

まえがき

  この規格は,工業標準化法第14条によって準用する第12条第1項の規定に基づき,社団法人日本空気
清浄協会(JACA)及び財団法人日本規格協会(JSA)から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を改正す
べきとの申出があり,日本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が改正した日本工業規格(日本産業規格)である。
  これによって,JIS B 9921:1997は改正され,この規格に置き換えられた。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願,実用新案権又は出願公開後の実用新案登録出願に
抵触する可能性があることに注意を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許
権,出願公開後の特許出願,実用新案権及び出願公開後の実用新案登録出願にかかわる確認について,責
任はもたない。

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――――― [JIS B 9921 pdf 2] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                                JIS
                                                                              B 9921 : 2010

光散乱式気中粒子計数器−校正方法及び検証方法

Light scattering airborne particle counter for clean spaces

序文

  この規格は,2007年に第1版として発行されたISO 21501-4を基とし,技術的内容を理解しやすく,か
つ,使いやすくするために技術的内容を変更して作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
  なお,この規格で側線又は点線の下線を施してある箇所は,対応国際規格を変更している事項である。
変更の一覧表にその説明を付けて,附属書JBに示す。

1 適用範囲

  この規格は,空気を吸引し,その中に含まれる浮遊粒子の粒径,及び個数又は粒子個数濃度を測定する,
光散乱式気中粒子計数器(以下,粒子計数器という。)の校正方法及び検証方法について規定する。この規
格における粒子計数器は,粒子を個々に測定する装置であり,一般的な測定粒径範囲は,0.110    
る。
    注記1 粒子計数器は,JIS B 9920におけるクリーンルーム及び環境が制御された場所の清浄度クラ
            スの測定,及び様々な環境の空気中に浮遊する粒径及び個数の測定に用いられる。
    注記2 粒子計数器で測定する粒径は,空気中に浮遊している校正用粒子の光散乱相当径であり,実
            際の粒径を測定しているわけではない。
              なお,粒径は,粒子の直径であり,粒子径ともいう。
    注記3 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
             ISO 21501-4:2007,Determination of particle size distribution−Single particle light interaction
                 methods−Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces(MOD)
              なお,対応の程度を表す記号“MOD”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“修正している”
            ことを示す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの
引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS B 9925 光散乱式液中粒子計数器−校正方法及び検証方法
    JIS Z 8103 計測用語
    JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語

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B 9921 : 2010

3 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS B 9925,JIS Z 8103及びJIS Z 8122によるほか,次による。
3.1
計数効率(counting efficiency)
  試験用空気を測定したとき,参照器が示す粒子個数濃度に対する粒子計数器が示す粒子個数濃度の比。
3.2
清浄空気(clean air)
  空気清浄装置などによって,試験に支障が生じない程度に清浄化した空気。
3.3
偽計数(false count rate)
  清浄空気を測定したとき,空気中に測定可能範囲の大きさの粒子が存在しないにもかかわらず,粒子計
数器が計数する計数値。
3.4
試験用空気
  粒子計数器の性能を試験するために用いる空気で,清浄空気中に校正用粒子を浮遊させたもの。

4 測定原理

  粒子の大きさ及び個数の測定は,粒子に光を照射すると光の一部は散乱されるため,この散乱された光
量から粒子の大きさを,また,粒子が光束を通過するときに発生する散乱光のパルスの数から粒子の個数
を計数する。具体的には,試料空気を粒子計数器の試料吸引口から一定流量で吸引し,光による照射領域
を通過させる。個々の浮遊粒子によって散乱される光を光電変換素子に集光し,パルス状の電気信号に変
換する。パルス信号の波高値は,散乱光量に比例し,また,散乱光量と浮遊粒子の粒径とが一定の関係に
あることを利用して,パルス波高値の分析によって粒径を選別し,かつ,選別したパルスの個数を計数す
ることによって設定された粒径より大きな粒子の通過個数を求める。又は,一定の測定時間中の吸引空気
体積と選別された粒子数とによって粒子個数濃度を求める。

5 基本構成

  粒子計数器は,図1に示すように,光源,空気吸引系,粒子検出領域,光電変換部,波高分析部,表示
部などからなる。ただし,空気吸引系及び/又は表示部が外部の装置を用いるために,粒子計数器には含
まれない場合もある。
  なお,校正用粒子に対する波高値分布を作成できる情報を取り出せなければならない。
                                    図1−粒子計数器の構成例

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                                                                                   B 9921 : 2010

6 性能

6.1 粒径区分のしきい値設定方法

  粒径区分のしきい値設定方法は,7.1に従うことが望ましい。

6.2 粒径区分のしきい値の誤差

  表示される粒径と選別される粒径との相対誤差は,7.2の方法で試験し,±10 %の範囲内でなければな
らない。対象とする粒径は,最小可測粒径,仕様書などに記載された粒径とする。

6.3 計数効率

  計数効率は,7.3の方法で試験し,最小可測粒径付近の校正用粒子においては(50±20)%,及び最小可
測粒径の1.5倍から2倍までの粒径の校正用粒子においては(100±10)%でなければならない。
    注記 最小可測粒径と厳密に等しい粒径をもつ校正用粒子が市販されていないなどの理由で入手でき
          ないときは,その粒径以上で入手可能な範囲で最も近い粒径の校正用粒子で代用することがで
          きる。

6.4 粒径分解能

  粒径分解能は,7.4の方法で試験し,15 %以下でなければならない。

6.5 偽計数

  偽計数は,7.5の方法で試験し,最小可測粒径において単位体積当たりに計数される数であり,仕様書な
どに記載しなければならない。

6.6 最大粒子個数濃度

  最大粒子個数濃度における同時通過損失は,7.6の式 (4) によって計算し,10 %以下でなければならない。
    注記 試料の粒子個数濃度が最大粒子個数濃度よりも高い場合は,粒子検出領域に同時に複数個の粒
          子が存在する確率が高くなること,及び電子回路の処理時間によって確率的に粒子を少なく計
          数する。

6.7 試料空気流量

  試料空気流量は,体積流量とし,7.7の方法で試験し,その規定流量からのずれは,±5 %の範囲内でな
ければならない。
  なお,粒子計数器に試料空気吸引機構がない場合は適用しないが,試料空気流量の許容範囲は,仕様書
などに記載していなければならない。
    注記 体積流量については,JIS B 7556を参照。

6.8 測定時間

  測定時間の設定誤差は,7.8の方法で試験し,設定された値に対して±1 %の範囲内でなければならない。
  粒子計数器に測定時間を制御するシステムがない場合は適用しない。

6.9 応答性

  粒子計数器の応答性は,7.9の方法で試験し,0.5 %以下でなければならない。

6.10 校正周期

  粒子計数器の校正周期は,1年以内がよい。

6.11 試験報告書

  試験報告書には,少なくとも次の項目を記載しなければならない。
a) 試験を実施した日
b) 校正に用いた粒子(粒径,製造業者,形式など)
c) 流量

――――― [JIS B 9921 pdf 5] ―――――

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