電子技術基本用語集

イオンビーム

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Glossary of basic terms used in electrotechnology

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規格 JISC5600:2006
JIS C 5600:2006
用語
イオンビーム
定義
ほぼ運動速度のそろったイオンの集団が,小さな径で決まった方向に流れているもの。 液体金属イオン源を用いた輝度の高いイオンビームは集光性に優れ,集束イオンビームと呼ばれる。
対応英語(参考)
ion beam

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