電子技術基本用語集

パッシベーション,表面不活性化

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Glossary of basic terms used in electrotechnology

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規格 JISC5600:2006
JIS C 5600:2006
用語
パッシベーション,表面不活性化
定義
半導体の界面を,安定化するために表面をシリコン酸化膜などのような物質で被覆して,不活性にすること。 備考 このような目的で半導体表面に形成された膜を“パッシベーション膜”という。表面を保護する目的でも使われ,“表面保護膜”ともいう。 参考 回路を保護するための表面保護膜に対して使われることがある。
対応英語(参考)
passivation, surface passivation

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