電子技術基本用語集

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電子技術基本用語集集 [ レ 行 ]

Glossary of basic terms used in electrotechnology

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規格 JISC5600:2006
JIS C 5600:2006
用語
レジスト
定義
半導体製造工程において,エッチング,イオン注入など,微細加工プロセスで加工すべき基板にパターンを形成するための感光材。紫外線,X線,電子線などの放射線の照射によって引き起こされる化学反応を利用して形成される。
対応英語(参考)
resist

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